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微型機械在國外已受到政府部門、企業界、高等學校與研究機構的高度重視。美國MIT、Berkeley、Stanford﹨AT&T的15名科學家在上世紀八十年代末提出'小機器、大機遇：關于新興領域--微動力學的報告'的國家建議書，聲稱'由于微動力學(微系統)在美國的緊迫性，應在這樣一個新的重要技術領域與其他國家的競爭中走在前面'，建議中央財政預支費用為五年5000萬美元，得到美國領導機構重視，連續大力投資，并把航空航天、信息和MEMS作為科技發展的三大重點。美國宇航局投資1億美元著手研制'發現號微型'，美國國家科學會把MEMS作為一個新崛起的研究領域制定了資助微型電子機械系統的研究的計劃，從1998年開始，資助MIT，加州大學等8所大學和貝爾實驗室從事這一領域的研究與開發，雙面磨加工，年資助額從100萬、200萬加到1993年的500萬美元。把MEMS列為關鍵技術項目。美國研究計劃局積極領導和支持MEMS的研究和軍事應用，現已建成一條MEMS標準工藝線以促進新型元件/裝置的研究與開發。美國工業主要致力于傳感器、位移傳感器、應變儀和加速度表等傳感器有關領域的研究。很多機構參加了微型機械系統的研究，如康奈爾大學、斯坦福大學、加州大學伯克利分校、密執安大學、威斯康星大學、老倫茲得莫爾國家研究等。加州大學伯克利傳感器和執行器中心(BSAC)得到和十幾家公司資助1500萬元后，萊西磨加工，建立了1115m2研究開發MEMS的超凈實驗室。
給驅動系統 一是依靠一定精度的機床來保證，即要求機床的精度高于工件所要求的精度，內外圓磨加工廠，稱之為“蛻化”原則或“母性”原則。 二是在精度比工件要求低的機床上，加工出高精度的工件，利用在線檢測和誤差補償技術，五金研磨加工，可以實現這個目的。這就是所謂的“進化”原則或“創造性”原則。 超精密機床，都裝有雙頻激光隨機檢測系統和精密數控系統組成反饋閉環控制系統，以保證加工的尺寸精度。
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